Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"D.A. Dichkov"'
IR spectra and etch rates of plasma-enhanced chemically vapour-deposited phosphosilicate glass films
Publikováno v:
Thin Solid Films. 140:269-276
IR transmission spectra of phosphosilicate glass (PSG) films with 8 wt.% P prepared by plasma-enhanced chemical vapour deposition (PECVD) and CVD are compared. The differential IR spectrum of a PECVD PSG film differs from that of a CVD PSG film: the
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::0943ca7cd5b950bc75bdba359ab8e73d
https://doi.org/10.1016/0040-6090(86)90270-1
https://doi.org/10.1016/0040-6090(86)90270-1
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.