Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"D.A. Bleej"'
Publikováno v:
Results in Physics, Vol 5, Iss C, Pp 85-91 (2015)
Experimental data related to 40 MHz Argon plasma parameters in the RF power and pressure ranges of 25–200 W and 0.2–0.5 Torr are presented. Electron temperatures are obtained using both double probe and optical spectroscopy methods. Acceptable co
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/8bc5d0d7a5a748419f4f3c508cc5d098
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.