Zobrazeno 1 - 8
of 8
pro vyhledávání: '"D. Sabens"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Hosadurga Shobha, S. Guggilla, J. Ren, Chenming Hu, C. Parks, Hoosung Kim, Frieder H. Baumann, C.-C. Yang, Son Nguyen, D. Sabens, Jain-Hsing Lee, Tibor Bolom, Takeshi Nogami, Joseph F. Aubuchon, Andrew H. Simon, C. Niu, Joyeeta Nag
Publikováno v:
2013 IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS).
Alternate metallization schemes for copper interconnect using selective CVD Co capping at the 22nm technology node are investigated. Control splits fabricated with PVD Ta(N) barrier/liner layers and CuMn alloy seedlayers are compared against intercon
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::6c29d2b29a6ac7ef1559c89bdd8af174
https://doi.org/10.1109/irps.2013.6532002
https://doi.org/10.1109/irps.2013.6532002
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.