Zobrazeno 1 - 10
of 329
pro vyhledávání: '"D. P. Griffis"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Kniha
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 8:2323-2328
Recent advances in semiconductor technology have allowed the fabrication of Si‐based devices with submicron lateral dimensions, thus requiring the concurrent development of the analytical techniques for characterization of the shallow junctions (30
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::62eb95d401840349141c4bafb71ac7b2
https://doi.org/10.1116/1.576757
https://doi.org/10.1116/1.576757
Autor:
D. P. Griffis, F. A. Stevie, G. R. Myneni, Phillip E. Russell, Donovan N. Leonard, A. D. Batchelor
Publikováno v:
AIP Conference Proceedings.
Single crystal niobium specimens of (100), (110) and (111) crystal orientations have been analyzed using TEM and SIMS. The TEM specimens were prepared using Focused Ion Beam (FIB) and show niobium oxide thicknesses ranging from 4.9 to 8.3 nm for the
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::5621aacfa8b2159fd64d7af7557a1b2d
https://doi.org/10.1063/1.2770680
https://doi.org/10.1063/1.2770680
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.