Zobrazeno 1 - 10
of 151
pro vyhledávání: '"D. Mariolle"'
Autor:
R. Segaud, P. Gergaud, S. Minoret, P. Neumann, F. Gustavo, A. Royer, C. Licitra, D. Mariolle, F. Nemouchi
Publikováno v:
2022 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC).
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::c1123397841d42d0bb41a4efb7cad483
https://doi.org/10.1109/iitc52079.2022.9881302
https://doi.org/10.1109/iitc52079.2022.9881302
Autor:
F. Agrebi, Ph. Descamps, Ph. Leclère, David Mercier, D. Mariolle, M. Febvre, R. Coq Germanicus
Publikováno v:
Journal of Microscopy
Journal of Microscopy, Wiley, 2020, ⟨10.1111/jmi.12935⟩
Journal of Microscopy, 2020, 280 (1), pp.51-62. ⟨10.1111/jmi.12935⟩
Journal of Microscopy, Wiley, 2020, 280 (1), pp.51-62. ⟨10.1111/jmi.12935⟩
Journal of Microscopy, Wiley, 2020, ⟨10.1111/jmi.12935⟩
Journal of Microscopy, 2020, 280 (1), pp.51-62. ⟨10.1111/jmi.12935⟩
Journal of Microscopy, Wiley, 2020, 280 (1), pp.51-62. ⟨10.1111/jmi.12935⟩
International audience; Local mechanical properties of submicron features are of particular interest due to their influence on macroscopic material performance and behaviour. This study is focused on local nanomechanical measurements, based on the la
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::00777f649ec25448f261e4a8c5afb9ff
https://doi.org/10.1111/jmi.12935
https://doi.org/10.1111/jmi.12935
Autor:
Alice Joulie, F.-X. Darras, A. M. Papon, Fanny Delaguillaumie, Alexandre Reinhardt, Patrice Gergaud, Y. Lamy, P. S. Pokam Kuisseu, Marie Bousquet, Catherine Maeder-Pachurka, Frédéric Mazen, M. Bertucchi, Gael Castellan, D. Mariolle, B. Sailler, Pierre Perreau, Christophe Billard, Gregory Enyedi
Publikováno v:
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS).
In the present work, Film Bulk Acoustic Resonators (FBAR) based on 700 nm-thick LiTaO3 films have been fabricated and characterized. Two orientations of single crystal LiTaO3 thin films have been investigated: (i) $\mathrm{Y}+42^{\circ}$ -cut, in whi
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::38189a7e0175fd11d19749eead337c1b
https://doi.org/10.1109/ius46767.2020.9251463
https://doi.org/10.1109/ius46767.2020.9251463
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Solid-State Electronics. 184:108057
This paper presents a study of the physicochemical and the dielectric characteristics of capacitor structures, with an organosilicate polymer fabricated by initiated chemical vapor deposition as dielectric. The polymer evaluated is the poly(trivinylt
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::87728e7912989952ea2de8bcf596efb0
https://doi.org/10.1016/j.sse.2021.108057
https://doi.org/10.1016/j.sse.2021.108057
Autor:
C. Nicolet, Laurent Pain, A. Le Pennec, Guido Rademaker, D. Mariolle, Ahmed Gharbi, Christophe Navarro, Xavier Chevalier, Tommaso Jacopo Giammaria, Raluca Tiron, Kaumba Sakavuyi, M.-L. Pourteau, A. Paquet, Paul F. Nealey
Publikováno v:
Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS, and MOEMS 2019.
Directed Self-Assembly (DSA) of Block Copolymer (BCP) is a promising lithography approach to achieve high resolution pattern dimensions. The current chemo-epitaxy process used to induce block copolymer self-alignment is showing today its limitations.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::4af1827411810f3d8033f4fe5e4a6d01
https://doi.org/10.1117/12.2514960
https://doi.org/10.1117/12.2514960
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.