Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"D. Diering"'
Publikováno v:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 306:275-280
Proton beam writing (PBW) is a well known method for micromachining, e.g. of semiconductors. Up to now, only few indication is given on how the resulting structure height in micromachined semiconductors can be controlled by means of fluence variation
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::ed9fcb3348946c21e655525b2b3d8c3e
https://doi.org/10.1016/j.nimb.2012.11.049
https://doi.org/10.1016/j.nimb.2012.11.049
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.