Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"D. Cany-Canian"'
Publikováno v:
Thin Solid Films. 519:367-372
Tantalum nitride based thin films have been deposited on p-Si (100) and SiO2/Si by thermal Atomic Layer Deposition (ALD) using either the Ta(= NtBu)(NEt2)3 or a derivative, in which one dialkylamido ligand is substituted by a η5-cyclopentadienyl (η
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.