Infrared absorption analysis of organosilicon/oxygen plasmas in a microwave multipolar plasma excited by distributed electron cyclotron resonance

Autor: Rudolf R. Burke, C. Marlière, P. Raynaud, Y. Segui, D. Berthomieux, Jean Durand

Publikováno v: Journal de Physique IV Proceedings
Journal de Physique IV Proceedings, EDP Sciences, 1998, 08 (PR7), pp.Pr7-265-Pr7-272. ⟨10.1051/jp4:1998722⟩

La dissociation de 4 groupes de monomeres organosilicies (tels que l'hexamethydisiloxane, le tetraethoxysilane, le tetramethylsilane ou encore le tetramethoxysilane) dans un reacteur PMM RCER est analysee par spectroscopie d'absorption infrouge. Les

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https://hal.umontpellier.fr/hal-01737477