Zobrazeno 1 - 10
of 11
pro vyhledávání: '"D. -G. Oei"'
Autor:
S. L. McCarthy, D. G. Oei
Publikováno v:
MRS Proceedings. 276
Measurements of the residual stress in polysilicon films made by Low Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD) at different deposition pressures and temperatures are reported. The stress behavior of phosphorus (P)-ion implanted/annealed polysilicon
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::3b18d3bf93811a51260beffb2ae01293
https://doi.org/10.1557/proc-276-85
https://doi.org/10.1557/proc-276-85
Publikováno v:
MRS Proceedings. 239
The microstructure, of unannealed and annealed polysilicon films was studied using TEM and XRD. The LPCVD films were grown at 600°C and 620°C with 320 mTorr of silane, and at 580°C with 220 mTorr of silane. The substrates were [001] Si with a thin
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::70050fdeb54e8b6c2ad7888d94b36279
https://doi.org/10.1557/proc-239-93
https://doi.org/10.1557/proc-239-93
Autor:
J. T. Kummer, D. -G. Oei
Publikováno v:
Journal of Applied Electrochemistry. 12:87-100
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::b94b951207ec9900b73c1f5f366b4cdb
https://doi.org/10.1007/bf01112069
https://doi.org/10.1007/bf01112069
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.