Zobrazeno 1 - 10
of 65
pro vyhledávání: '"Cu diffusion barrier"'
Autor:
Johanna (Sanne) H. Deijkers, Arthur A. deJong, Miika J. Mattinen, Jeff J. P. M. Schulpen, Marcel A. Verheijen, Hessel Sprey, Jan Willem Maes, Wilhelmus (Erwin) M. M. Kessels, Ageeth A. Bol, Adriaan J. M. Mackus
Publikováno v:
Advanced Materials Interfaces, Vol 10, Iss 12, Pp n/a-n/a (2023)
Abstract Miniaturization in integrated circuits requires that the Cu diffusion barriers located in interconnects between the Cu metal line and the dielectric material should scale down. Replacing the conventional TaN with a 2D transition metal dichal
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/cf0691abe86647728518a52e4199b94c
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Materials
Materials, Vol 13, Iss 5049, p 5049 (2020)
Materials, Vol 13, Iss 5049, p 5049 (2020)
The barrier layer in Cu technology is essential to prevent Cu from diffusing into the dielectric layer at high temperatures; therefore, it must have a high stability and good adhesion to both Cu and the dielectric layer. In the past three decades, ta
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::f70f81c3a5f6207f377f068be2876062
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/33182434
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/33182434
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.