Zobrazeno 1 - 8 of 8 pro vyhledávání: '"Cotler, Tina J"'
1
Akademický článek
Chamber material effects on actinometric measurements in rf glow discharges.
Autor: Cotler, Tina J., Passow, Michael L., Fournier, Jeffrey P., Brake, Mary L., Elta, Michael E.
Publikováno v: Journal of Applied Physics; 3/1/1991, Vol. 69 Issue 5, p2885, 4p
Zobrazit plný text záznamu
2
Akademický článek
Large-signal time-domain modeling of low-pressure rf glow discharges.
Autor: Barnes, Michael S., Cotler, Tina J., Elta, Michael E.
Publikováno v: Journal of Applied Physics; 1/1/1987, Vol. 61 Issue 1, p81, 9p
Zobrazit plný text záznamu
3
Akademický článek
Reactive-ion-etch profile evolution determined by a Monte Carlo microtopography model.
Autor: Cotler, Tina J., Elta, Michael E.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics Processing & Phenomena; 1990, Vol. 8 Issue 3, p523-528, 6p
Zobrazit plný text záznamu
4
Akademický článek
A Monte Carlo microtopography model for investigating plasma/reactive ion etch profile evolution.
Autor: Cotler, Tina J., Barnes, Michael S., Elta, Michael E.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics Processing & Phenomena; 1988, Vol. 6 Issue 2, p542-550, 9p
Zobrazit plný text záznamu
5
Akademický článek
Infrared absorption spectroscopy for monitoring condensible gases in chemical vapor deposition applications.
Autor: O'Neill, James A., Passow, Michael L., Cotler, Tina J.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; 1994, Vol. 12 Issue 3, p839-845, 7p
Zobrazit plný text záznamu
6
Akademický článek
Erratum: ‘‘Large-signal time-domain modeling of low-pressure rf glow discharges’’ [J. Appl. Phys. 61, 81 (1987)].
Autor: Barnes, Michael S., Cotler, Tina J., Elta, Michael E.
Publikováno v: Journal of Applied Physics; 5/1/1987, Vol. 61 Issue 9, p4711, 1p
Zobrazit plný text záznamu
7
Akademický článek
A solution for pressure variations in vacuum process tools due to pressure regulator fluctuations.
Autor: Fournier, Jeffrey P., Passow, Michael L., Cotler, Tina J., Elta, Michael E.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; 1991, Vol. 9 Issue 2, p358-359, 2p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje