Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"Chua, Thai Cheng"'
Publikováno v:
2017 Plasma Sources Sci. Technol. 26 095002
Electron neutral collision frequency is measured using both grounded and floating hairpin resonator probes in a 27 MHz parallel plate capacitively coupled plasma (CCP). Operating conditions are 0.1-2 Torr (13.3-267 Pa) in Ar, He, and Ar-He gas mixtur
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/1703.09334
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.