Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"Christine B. Whitman"'
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 17:1893-1897
The use of copper interconnects enables higher speed, enhanced electromigration lifetime reliability, reduced power consumption, and ultimately reduced manufacturing cost for silicon integrated circuits. The formation of planarized inlaid copper inte
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e42e37ef3537feae7296804173e8932c
https://doi.org/10.1116/1.581700
https://doi.org/10.1116/1.581700
Autor:
Christine B. Whitman
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 5:255-261
Several types of spent vacuum pump fluids were reconditioned by molecular distillation and filtration, which subsequently performed equal to or better than new fluids. The reclaimed fluids were analyzed for and found to be free of suspected trace con
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::937fa4cfc903258040b2d1cd30d079e9
https://doi.org/10.1116/1.574114
https://doi.org/10.1116/1.574114
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.