Výsledky vyhledávání - "Christin A. Zorman"

Fabrication of low defect density 3C-SiC on SiO2 structures using wafer bonding techniques

Autor: A.A. Yasseen, Krishna N. Vinod, Mehran Mehregany, Christin A. Zorman

Publikováno v: Journal of Electronic Materials. 27:L17-L20

This paper reports on a process to fabricate single-crystal 3C-SiC on SiO2 structures using a wafer bonding technique. The process uses the bonding of two polished polysilicon surfaces as a means to transfer a heteroepitaxial 3C-SiC film grown on a S

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::39219feb526a1bc7d0b350f3e6410622
https://doi.org/10.1007/s11664-998-0207-z

Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání