Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

ICP etching of InP and its applications in photonic circuits

Autor: Karouta, F., Zhu, Y.C., Geluk, E.J., Tol, van der, J.J.G.M., Binsma, J.J.M., Smit, M.K., Jagadish, C., Choquette, K.D., Eggleton, B.J.

Publikováno v: SPIE International Symposium on Photonics: Design, Technology, and Packaging, 10-12 December 2003, 22-28
STARTPAGE=22;ENDPAGE=28;TITLE=SPIE International Symposium on Photonics: Design, Technology, and Packaging, 10-12 December 2003

Ridge waveguides with smooth and vertical sidewalls are essential in photonic circuits. We have investigated waveguide realization with reactive ion etching of InP and InP-based structures using a SiNx. in a Ch/H2/CH4 chemistry in an rcp plasma. Depe

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::8f170a134b75c6d05737ce27f4013dc2
https://doi.org/10.1117/12.530339

8 - Vertical cavity surface emitting lasers (VCSELs)

Autor: Choquette, K.D.

Publikováno v: In Semiconductor lasers 2013:316-340

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.