Zobrazeno 1 - 1 of 1 pro vyhledávání: '"Chi, Jiahao"'
1
Akademický článek
Selective dry etching of silicon with heat-mode resist GeSb for the preparation of metasurfaces
Autor: Zeng, Xu, Zhang, Kui, Wei, Jingsong, Chi, Jiahao, Dai, Haolin, Wang, Yang
Publikováno v: In Materials Science in Semiconductor Processing December 2024 184
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje