Zobrazeno 1 - 9
of 9
pro vyhledávání: '"Cheng, Yiguang"'
Publikováno v:
In Materials Science in Semiconductor Processing January 2021 121
Publikováno v:
In Optics and Lasers in Engineering October 2017 97:78-85
Publikováno v:
In Optics and Lasers in Engineering February 2016 77:18-25
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
Dimensional metrology for micro structure plays an important role in addressing quality issues and observing the performance of micro-fabricated products. Different from the traditional white-light interferometry approach, the modulation-based method
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::fc4ff5cccfa34bc2ba5df38dac9ff7b3
https://doi.org/10.1117/12.2243599
https://doi.org/10.1117/12.2243599
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
司新春 Si Xinchun, 唐燕 Tang Yan, 胡松 Hu Song, 刘俊伯 Liu Junbo, 程依光 Cheng Yiguang, 胡淘 Hu Tao, 周毅 Zhou Yi, 邓钦元 Deng Qinyuan
Publikováno v:
Acta Optica Sinica. 36:0105003
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::079fd0a5b0261c8b9cc309ab0043f196
https://doi.org/10.3788/aos201636.0105003
https://doi.org/10.3788/aos201636.0105003
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Luo, Xiangang, Ye, Tianchun, Xin, Tingwen, Hu, Song, Hong, Minghui, Gu, Min, Zhou, Yi, Tang, Yan, Liu, Junbo, Deng, Qinyuan, Cheng, Yiguang, Hu, Song
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; October 2016, Vol. 9685 Issue: 1 p968505-968505-6