Výsledky vyhledávání - "Chen, R.T.S."

Akademický článek

Does high density?low pressure etching depend on the type of plasma source?

Autor: Hershkowitz, N., Ding, J., Breun, R.A., Chen, R.T.S., Meyer, J., Quick, A.K.

Publikováno v: Physics of Plasmas; May96, Vol. 3 Issue 5, p2197-2202, 6p, 3 Diagrams, 5 Graphs

Zobrazit plný text záznamu

Conference

Energetic electron detection by a time-sampled Langmuir probe in a helicon plasma source.

Autor: Chen, R.T.S., Sandstrom, P.W., Hershkowitz, N.

Publikováno v: International Conference on Plasma Science (Papers in Summary Form only Received); 1995, p142-143, 2p

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Akademický článek

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Akademický článek

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Akademický článek

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.