Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"Chee Y. Kwok"'
Publikováno v:
Journal of Microelectromechanical Systems. 24:1951-1959
This paper investigates the crystallinity, microstructure, surface morphology, stress characteristics, and Young’s Modulus of ultrahigh vacuum (UHV) electron-beam (E-beam) evaporated silicon films with a low thermal budget. The films are evaporated
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::3caaa1108d35defbb4be06fc99d57a23
https://doi.org/10.1109/jmems.2015.2453191
https://doi.org/10.1109/jmems.2015.2453191
Publikováno v:
Smart Electronics and MEMS II.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e06024eb1212413030216fb602964d27
https://doi.org/10.1117/12.494947
https://doi.org/10.1117/12.494947
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.