Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"Chau-Han D. Lee"'
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 15:616-621
A chemically assisted ion beam etching system has been developed which performs high quality, highly anisotropic etching of AlGaAs/GaAs at relatively low ion energies (200 eV). The use of three grid ion optics in a Kaufman ion source allows etching a
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::339ed54a1fef3b022a8b897123ce60b2
https://doi.org/10.1116/1.580693
https://doi.org/10.1116/1.580693
Publikováno v:
CLEO '97., Summaries of Papers Presented at the Conference on Lasers and Electro-Optics.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::ace46e10737c527953beb9acb202dd81
https://doi.org/10.1109/cleo.1997.603019
https://doi.org/10.1109/cleo.1997.603019
Publikováno v:
CLEO '97, Summaries of Papers Presented at the Conference on Lasers & Electro-Optics; 1997, Issue 11, p206-207, 2p
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.