Zobrazeno 1 - 10
of 53
pro vyhledávání: '"Chandhok Manish"'
Autor:
Roberts, Jeanette, Bacuita, Terence, Bristol, Robert L., Cao, Heidi, Chandhok, Manish, Lee, Sang H., Leeson, Michael, Liang, Ted, Panning, Eric, Rice, Bryan J., Shah, Uday, Shell, Melissa, Yueh, Wang, Zhang, Guojing
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering 2006 83(4):672-675
Autor:
Nathan Wilcox, Chuan Hu, Seh-Jin Park, Guojing Zhang, Marilyn Kamna, Kamgmin Hsia, Fabian C. Martinez, Chandhok Manish, Alan R. Stivers
Publikováno v:
Photomask Technology 2008.
Extreme Ultraviolet Lithography (EUVL) masks have residual stress induced by several thin films on low thermal expansion material (LTEM) substrates. The stressed thin films finally result in convex out-of-plane displacement (OPD) of several 100s of n
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::938b1c8ff3369af7d62b872118fb9423
https://doi.org/10.1117/12.801542
https://doi.org/10.1117/12.801542
Autor:
Lin, Kevin L., Bojarski, Stephanie A., Carver, Colin T., Chandhok, Manish, Chawla, Jasmeet S., Clarke, James S., Harmes, Michael, Krist, Brian, Lang, Hazel, Mayeh, Mona, Naskar, Sudipto, Plombon, John J., Sung, Seung Hoon, Yoo, Hui Jae
Publikováno v:
2015 IEEE International Interconnect Technology Conference & 2015 IEEE Materials for Advanced Metallization Conference (IITC/MAM); 2015, p169-172, 4p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Chandhok, Manish, Goyal, Sanjay, Carson, Steven, Park, Seh-Jin, Zhang, Guojing, Myers, Alan M., Leeson, Michael L., Kamna, Marilyn, Martinez, Fabian C., Stivers, Alan R., Lorusso, Gian F., Hermans, Jan, Hendrickx, Eric, Govindjee, Sanjay, Brandstetter, Gerd, Laursen, Tod
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2009 Part 2, Issue 1, p72710G-72710G-12, 12p
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2009 Part 2, Issue 1, p72731L-72731L-9, 9p
Autor:
Kang, Shuhui, Prabhu, Vivek M., Wu, Wen-li, Lin, Eric K., Choi, Kwang-Woo, Chandhok, Manish, Younkin, Todd R., Yueh, Wang
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2009 Part 2, Issue 1, p72733U-72733U-11, 11p
Autor:
Vandentop, Gilroy, Chandhok, Manish, Putna, Ernisse S., Younkin, Todd R., Clarke, James S., Carson, Steven, Myers, Alan, Leeson, Michael, Zhang, Guojing, Liang, Ted, Murachi, Tetsunori
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2009, Issue 1, p727116-727116-9, 9p