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Autor:
Chambettaz, Florentin
La miniaturisation des dispositifs de la microélectronique nécessite la mise au point de procédé de gravure toujours plus précis. Le sujet de cette thèse s’inscrit dans cette problématique, en effet un procédé de gravure séquentielle cont
Externí odkaz:
http://www.theses.fr/2018GREAT023/document
Autor:
Chambettaz, Florentin
Publikováno v:
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Grenoble Alpes, 2018. Français. ⟨NNT : 2018GREAT023⟩
The miniaturization of microelectronics devices requires the development of ever more accurate etching processes. The subject of this thesis is part of this problematic: a controlled sequential etching process at the nanoscale has been developed to o
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::56e7a89bd0bae46adcb21629d340bea0
https://theses.hal.science/tel-01873505
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