Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"Catherine Hartford"'
Autor:
Ron Choma, Subramania Krishnakumar, Catherine Hartford, Jack H. Linn, Greg Moran, Ilya Karpov
Publikováno v:
MRS Proceedings. 500
In this paper, we examine the dopant distributions in 1.8 to 4 micron-thick boron- and phosphorus-doped epitaxial silicon layers. These layers were grown by chemical vapor deposition (CVD) on arsenic-, antimony-, or boron-doped (100)- and (111)-orien
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::2e0324d956862a6dd50c19f48140dcc5
https://doi.org/10.1557/proc-500-75
https://doi.org/10.1557/proc-500-75
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.