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Análise comparativa das propriedades elétricas de camadas e multicamadas de VOx depositadas por pulverização catódica para aplicação em bolômetros

Autor: Medeiro, Rodrigo Amaral de, Castro, Marcelo Silva Bortolini de, Cruz, Leila Rosa de Oliveira, Ferreira, Carlos Luiz

Publikováno v: Matéria (Rio de Janeiro), Volume: 24, Issue: 1, Article number: e-12272, Published: 20 MAY 2019

RESUMO Filmes finos de VOX (camada e multicamadas) foram fabricados por pulverização catódica com rádiofrequência assistida por campo magnético constante para aplicação em detectores de radiação infravermelha do tipo bolômetro. As amostras

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Análise comparativa das propriedades elétricas de camadas e multicamadas de VOx depositadas por pulverização catódica para aplicação em bolômetros

Autor: Medeiro,Rodrigo Amaral de, Castro,Marcelo Silva Bortolini de, Cruz,Leila Rosa de Oliveira, Ferreira,Carlos Luiz

Publikováno v: Matéria (Rio de Janeiro) v.24 n.1 2019
Matéria (Rio de Janeiro. Online)
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