Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"Carrie Lundquist"'
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
As integrate circuit geometries, capital for defect detection equipment, and process cycle time decrease simultaneously, prioritizing continuous yield improvement activities becomes essential. One approach for achieving this goal is to integrate yiel
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::f11070c8b3b6467a16f603fb0ce14c0c
https://doi.org/10.1117/12.186756
https://doi.org/10.1117/12.186756
Autor:
Tara Allen, Carrie Lundquist, J. Cadenhead, S. Dunnigan, H. Stevens, Rafael Delgado, James W. Peterson, Karl Mautz
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
As geometries continue to shrink, the reduction of alkali ion contamination inintegrated circuits is imperative. A Motorola factory established a goal to achieve greaterthan an order of magnitude reduction in alkali ion levels through characterizatio
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::61b56b4bb49e5020dc16310f6b1e3c0a
https://doi.org/10.1117/12.186755
https://doi.org/10.1117/12.186755
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.