Zobrazeno 1 - 10 of 19 pro vyhledávání: '"Carlile, Robert N."'
1
Akademický článek
Physical properties of contamination particle traps in a process plasma.
Autor: Carlile, Robert N., Geha, Sam S.
Publikováno v: Journal of Applied Physics; 5/15/1993, Vol. 73 Issue 10, p4785, 9p
Zobrazit plný text záznamu
2
Akademický článek
The dependence of contamination particle traps on wafer material and topography.
Autor: Geha, Sam G., Carlile, Robert N., O’Hanlon, John F., Selwyn, Gary S.
Publikováno v: Journal of Applied Physics; 7/15/1992, Vol. 72 Issue 2, p374, 10p
Zobrazit plný text záznamu
3
Akademický článek
Relaxation of the Electron Distribution Function.
Autor: Carlile, Robert N.
Publikováno v: IEEE Transactions on Plasma Science; 1984, Vol. 12 Issue 3, p214-223, 10p
Zobrazit plný text záznamu
4
Akademický článek
Parametric Decay of Electron Electrostatic Waves Pumped by an Electromagnetic Wave.
Autor: Carlile, Robert N.
Publikováno v: IEEE Transactions on Plasma Science; 1976, Vol. 4 Issue 4, p272-280, 9p
Zobrazit plný text záznamu
5
Akademický článek
EMP Propagation in a Plasma-Filled Waveguide.
Autor: Carlile, Robert N., Righettini, Marlene E.
Publikováno v: IEEE Transactions on Nuclear Science; 1985, Vol. 32 Issue 3, p1250-1256, 7p
Zobrazit plný text záznamu
6
Akademický článek
A radio frequency compensated emissive probe.
Autor: Jungwon Kang, Carlile, Robert N., O'Hanlon, John F.
Publikováno v: Review of Scientific Instruments; May96, Vol. 67 Issue 5, p1818, 4p, 3 Diagrams, 4 Graphs
Zobrazit plný text záznamu
7
Akademický článek
Particle contamination on a silicon substrate in a SF6/Ar plasma.
Autor: Smadi, Mithkal M., Kong, George Y., Carlile, Robert N., Beck, Scott E.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1992, Vol. 10 Issue 1, p30-36, 7p
Zobrazit plný text záznamu
8
Akademický článek
Electrical characterization of a processing plasma chamber.
Autor: Roth, Weston C., Carlile, Robert N., O'Hanlon, John F.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; 1997, Vol. 15 Issue 6, p2930-2937, 8p
Zobrazit plný text záznamu
9
Akademický článek
Mapping of radio frequency plasma potential throughout a particle trapping region using an emissive probe.
Autor: Kang, Jungwon, Carlile, Robert N., O'Hanlon, John F., Collins, Sean M.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; 1996, Vol. 14 Issue 2, p639-643, 5p
Zobrazit plný text záznamu
10
Periodical
Spectroscopic diagnostics of temperature-controlled trench etching of silicon
Autor: Krogh, Ole, Carlile, Robert N., Nowlin, Robert N.
Publikováno v: Plasma Chemistry and Plasma Processing; June 1995, Vol. 15 Issue: 2 p231-255, 25p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje