Výsledky vyhledávání - "Campo, J. M. Dieguez"

Periodical

Influence of gas phase chemistry on the properties of hydrogenated amorphous silicon and silicon-carbon alloys grown by HACVD

Autor: Campo, J. M. Dieguez, Lenski, M., Comes, F. J.

Publikováno v: Thin Solid Films; 1998, Vol. 323 Issue: 1 p115-125, 11p

Zobrazit plný text záznamu