Výsledky vyhledávání - "Caitlin Smyth"

Akademický článek

Low-Temperature and Low-Pressure Silicon Nitride Deposition by ECR-PECVD for Optical Waveguides

Autor: Dawson B. Bonneville, Jeremy W. Miller, Caitlin Smyth, Peter Mascher, Jonathan D. B. Bradley

Publikováno v: Applied Sciences, Vol 11, Iss 5, p 2110 (2021)

We report on low-temperature and low-pressure deposition conditions of 140 °C and 1.5 mTorr, respectively, to achieve high-optical quality silicon nitride thin films. We deposit the silicon nitride films using an electron cyclotron resonance plasma-

Externí odkaz: https://doaj.org/article/a85832a67c1a4dc2a7f4dbf69451ec89

Zobrazit plný text záznamu

Low-Temperature and Low-Pressure Silicon Nitride Deposition by ECR-PECVD for Optical Waveguides

Autor: Jonathan D. B. Bradley, Caitlin Smyth, J. W. Miller, Dawson B. Bonneville, Peter Mascher

Publikováno v: Applied Sciences, Vol 11, Iss 2110, p 2110 (2021)
Applied Sciences
Volume 11
Issue 5

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::cfee220dc45267b94cf2fad3bd25b9a9
https://doi.org/10.3390/app11052110

Zobrazit plný text záznamu

Response

Autor: Arani, Nitkunan, Bridget K, MacDonald, Ajay, Boodhoo, Andrew, Tomkins, Caitlin, Smyth, Medina, Southam, Fred, Schon

Publikováno v: Clinical Medicine. 17:592-592

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::ceeafc098d38531e94b87469f831701a
https://doi.org/10.7861/clinmedicine.17-6-592

Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání