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pro vyhledávání: '"CVD-Verfahren"'
Autor:
Boysen, Nils
Präkursoren mit Relevanz für die Gasphasenabscheidung von verschiedenen Materialsystemen mittels der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) oder Atomlagenabscheidung (ALD) müssen spezifisch für solche Prozesse entwickelt werden. In dieser Arbeit w
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::a27d9dfaa642142047c972b41d4fec62
https://hss-opus.ub.ruhr-uni-bochum.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/9537
https://hss-opus.ub.ruhr-uni-bochum.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/9537
Autor:
Ackermann, Johannes
In dieser Dissertation wird beschrieben, wie es durch systematische Anwendung unterschiedlicher Methoden zur Herstellung und Modifizierung von Diamant gezielt und verlässlich möglich ist, die Eigenschaften von Diamanten zu beeinflussen. Es wird gez
Autor:
Ackermann, Johannes
In dieser Dissertation wird beschrieben, wie es durch systematische Anwendung unterschiedlicher Methoden zur Herstellung und Modifizierung von Diamant gezielt und verlässlich möglich ist, die Eigenschaften von Diamanten zu beeinflussen. Es wird gez
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::3653bbb27c54236127e45c0d5cc9fe2b
https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:20-opus-273608
https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:20-opus-273608
Publikováno v:
AMC 2015 – Advanced Metallization Conference
We report approaches to grow ultrathin Ru films for application as a seed layer and Cu diffusion barrier. For chemical vapor deposition (CVD) with Ru3(CO)12 we show the role surface hydroxyl groups have in nucleating the Ru islands that grow into a c
Autor:
Shima, Kohei, Tu, Yuan, Han, Bin, Takamizawa, Hisashi, Shimizu, Hideharu, Shimizu, Yasuo, Momose, Takeshi, Inoue, Koji, Nagai, Yasuyoshi, Shimogaki, Yukihiro
Publikováno v:
AMC 2015 – Advanced Metallization Conference
A new materials system of a single layered Co(W) barrier/liner coupled with a Cu(Mn) alloy seed was investigated. Atom probe tomography visualized the sub-nanoscale structure of Cu(Mn)/Co(W) system, and thereby revealed Cu diffusion behavior of Co(W)
Autor:
Jeschke, Janine, Möckel, Stefan, Korb, Marcus, Rüffer, Tobias, Assim, Khaybar, Melzer, Marcel, Herwig, Gordon, Georgi, Colin, Schulz, Stefan E., Lang, Heinrich
Publikováno v:
J. Mater. Chem. C, 2016,4, 2319-2328
A series of ruthenium complexes of the general type Ru(CO)2(P(n-Bu)3)2(O2CR)2 (4a, R = Me; 4b, R = Et; 4c, R = i-Pr; 4d, R = t-Bu; 4e, R = CH2OCH3; 4f, R = CF3; 4g, R = CF2CF3) was synthesized by a single-step reaction of Ru3(CO)12 with P(n-Bu)3 and
Autor:
Oing, Dennis
Silizium ist das derzeit bedeutendste Halbleitermaterial und der gr����te Teil der Halbleiterindustrie basiert auf diesem Material. F��r zuk��nftige Anwendungen kann es aber sinnvoll sein, den Anwendungsbereich von Halbleitermateriali
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::9d32ac3a9fcbacd172cb37be98041398
Autor:
Nordheim, Gregor
The contribution describes the construction of a CVD system, the deposition of thin molybdenum disulphide layers using this system and the analysis of the samples produced. The deposition of thin molybdenum disulphide layers and an intercalation of t
Die vorliegende Dissertation befasst sich mit der Entwicklung von neuartigen metallorganischen Präkursoren, die in Prozessen der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) und Atomlagenabscheidung (ALD) implementiert werden, um Dünnschichten mit verbess
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3579::c750cd26a43586d6ce399ee3319f6978
https://hss-opus.ub.ruhr-uni-bochum.de/opus4/files/8446/diss.pdf
https://hss-opus.ub.ruhr-uni-bochum.de/opus4/files/8446/diss.pdf
Autor:
Akhtar, Fatima
Due to the unique electronic band structure, graphene has opened the great potential to extend the functionality of a large variety of graphene-based devices in health and environment, energy storage, or various microelectronic applications, to menti
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https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::4b69f2d33a0f21ffdcc321dcd691c5f4
https://opus4.kobv.de/opus4-btu/files/5927/Akhtar_Fatima.pdf
https://opus4.kobv.de/opus4-btu/files/5927/Akhtar_Fatima.pdf