Zobrazeno 1 - 10
of 742
pro vyhledávání: '"CVD, ALD"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Shima, Kohei, Tu, Yuan, Han, Bin, Takamizawa, Hisashi, Shimizu, Hideharu, Shimizu, Yasuo, Momose, Takeshi, Inoue, Koji, Nagai, Yasuyoshi, Shimogaki, Yukihiro
Publikováno v:
AMC 2015 – Advanced Metallization Conference
A new materials system of a single layered Co(W) barrier/liner coupled with a Cu(Mn) alloy seed was investigated. Atom probe tomography visualized the sub-nanoscale structure of Cu(Mn)/Co(W) system, and thereby revealed Cu diffusion behavior of Co(W)
Autor:
Wang, Quan1, Song, Sannian2, Song, Zhitang2 ztsong@mail.sim.ac.cn, Wang, Dawei, Ding, Yuqiang yding@jiangnan.edu.cn
Publikováno v:
Russian Journal of General Chemistry. Oct2014, Vol. 84 Issue 10, p2027-2030. 4p. 1 Diagram, 3 Charts.
Publikováno v:
New Journal of Chemistry. 46:15175-15184
A novel fabrication of TiN/CNTs@CC was presented and can be used as electrodes with good flexibility and conductivity in ZIHCs.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::455fbec6ed0b8f468974870f059bcd38
https://doi.org/10.1039/d2nj02334b
https://doi.org/10.1039/d2nj02334b
Autor:
Piallat, Fabien
L'intégration du métal dans les nœuds technologiques sub-20 nm requiert une conformité supérieure à celle permise par la PVD. Les techniques de CVD, plus spécifiquement la MOCVD et l'ALD, ont été identifiées comme les meilleures solutions p
Externí odkaz:
http://www.theses.fr/2014GRENT015/document
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Fraccaroli, Mathias
Publikováno v:
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Grenoble Alpes [2020-..], 2020. Français. ⟨NNT : 2020GRALT006⟩
In the context of functional diversification (“More than Moore”), transition sulfides are currently being actively studied for original optical devices production. Some materials in this family have a lamellar structure, similar to graphene like
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::e7802a9216a23442dcdb6c37ba323073
https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-02927887
https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-02927887
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
2019 30th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC).
Many of the advanced gas-phase processes used in state-of-the art microelectronic fabrication place higher demands on liquid vapor delivery solutions. Vaporization challenges include a diverse range of liquids with unique material properties, the use
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::9fe5cf586eeed179e5951168305c2846
https://doi.org/10.1109/asmc.2019.8791829
https://doi.org/10.1109/asmc.2019.8791829