Zobrazeno 1 - 10
of 14
pro vyhledávání: '"CHRISTOPHER F. McCONNELL"'
Publikováno v:
MRS Proceedings. 386
With the goal of optimizing point-to-point etch uniformity in a continuous flow wet processing system, a comprehensive fluid dynamics study was undertaken. Aspects of this work included developing a computational, finite-element, fluid dynamic model;
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::881306007d687fe59d73f0a909939cb2
https://doi.org/10.1557/proc-386-35
https://doi.org/10.1557/proc-386-35
Publikováno v:
Thermal Hydrocarbon Chemistry ISBN: 9780841204683
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::47e5b72a455ed8d9d7ae122fd2875d0c
https://doi.org/10.1021/ba-1979-0183.ch012
https://doi.org/10.1021/ba-1979-0183.ch012
Publikováno v:
Particles on Surfaces 2 ISBN: 9781461278528
The presence of particles on the surfaces of semiconductor wafers is known to negatively affect device yields. As linewidths continue to shrink, the inherent limitations in many of the commonly used methods for drying wafers after wet processing have
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::dfc02427f68bdb93ee2844015e847d60
https://doi.org/10.1007/978-1-4613-0531-6_19
https://doi.org/10.1007/978-1-4613-0531-6_19
Publikováno v:
Thermal Hydrocarbon Chemistry ISBN: 9780841204683
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::a7c20c23e6b925090659c230236c2709
https://doi.org/10.1021/ba-1979-0183.ch010
https://doi.org/10.1021/ba-1979-0183.ch010
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.