Zobrazeno 1 - 10
of 17
pro vyhledávání: '"C.F.H. Gondran"'
Publikováno v:
2004 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop (IEEE Cat. No.04CH37530).
CD-mode AFM data contains information about the roughness of the line sidewalls. In this paper, sidewall roughness information from an in-line CD-mode AFM will be compared to AFM measurements taken on the same samples off-line using a destructive sam
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::1fbbe9acde3ed55c6e19b88579aa8193
https://doi.org/10.1109/asmc.2004.1309570
https://doi.org/10.1109/asmc.2004.1309570
Publikováno v:
1997 IEEE International SOI Conference Proceedings.
We have conducted an investigation to evaluate the impact of both touch-polish and hydrogen annealing at different temperatures on the roughness, on the SOI film removal, as well as the impact of so processed surface on the integrity of gate oxide th
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::0a3fbbfc99a704f25156700706475c0d
https://doi.org/10.1109/soi.1997.634967
https://doi.org/10.1109/soi.1997.634967
Autor:
P.K. Vasudev, J. Bennett, S. Jackett-Murphy, W.P. Maszara, H. Hovel, C.F.H. Gondran, R. Dockerty, T. Boden, M.J. Anc
Publikováno v:
Scopus-Elsevier
Summary form only given. Internal thermal oxidation (ITOX) has been shown to improve the quality of buried oxide (BOX) in low dose (4E17 cm/sup -2/) SOI SIMOX material. SOI film quality of ITOX SIMOX was determined to be as good as bulk in terms of t
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::87f923887f99d128f8ccb91019c10bed
http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-0031362871&partnerID=MN8TOARS
http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-0031362871&partnerID=MN8TOARS
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Kniha
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.