Zobrazeno 1 - 10
of 14
pro vyhledávání: '"C.D. Dobson"'
A novel high pressure low temperature aluminum plug technology for sub-0.5 μm contact/via geometries
Autor:
Manoj K. Jain, K. Mizobuchi, Girish A. Dixit, Robert H. Havemann, P.J. Holverson, C.D. Dobson, Michael F. Chisholm, D.C. Butler, T. Weaver, P. Rich, Larry M. Ting, J. Hems, A.I. Jeffryes, S. Pearch
Publikováno v:
Proceedings of 1994 IEEE International Electron Devices Meeting.
Several recent papers have demonstrated aluminum reflow for contact/via filling in 0.5 /spl mu/m applications. However, aluminum reflow processes have not been widely accepted due to the higher deposition temperatures required and the difficulty in g
Autor:
A. Kiermasz, R. Wilby, T. Nishimura, Y. Hayashide, Matsuura, K. Beekmann, Hideo Kotani, C.D. Dobson, H. Iuchi
Publikováno v:
Proceedings of 1994 IEEE International Electron Devices Meeting.
This paper presents a highly-reliable interlayer dielectric process using a novel CVD method. The key to the process is a unique chemistry of SiH/sub 4/ and H/sub 2/O/sub 2/, which generates a liquid intermediate filling very narrow gaps and providin
Autor:
A.I. Jeffryes, K. Mizobuchi, Robert H. Havemann, K. Hamamoto, M. Utsugi, N. Rimmer, D.C. Butler, P.J. Holverson, S. Poarch, A. McGeown, C.D. Dobson, P. Rich, Girish A. Dixit
Publikováno v:
1995 Symposium on VLSI Technology. Digest of Technical Papers.
A novel high pressure (60 MPa) force fill Al-plug technology has been previously shown to be suitable for sub-half micron contact and via hole filling. This paper describes the first application of the new aluminum force fill technology to actual ULS
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.