Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"C. Quinty"'
Publikováno v:
Surface and Coatings Technology. 70:151-158
A plasma-enhanced chemical vapour deposition equipment20with inductive r.f. coupling was built that enables coating of static samples (silica plates or rods) and moving optical fibres. First experiments with CH 4 /H 2 and CH 4 alone as precursor gase
Publikováno v:
Journal de Physique IV Proceedings
Journal de Physique IV Proceedings, EDP Sciences, 1993, 03 (C7), pp.C7-1377-C7-1382. ⟨10.1051/jp4:19937210⟩
Journal de Physique IV Proceedings, EDP Sciences, 1993, 03 (C7), pp.C7-1377-C7-1382. ⟨10.1051/jp4:19937210⟩
An RF plasma CVD equipment was built for carbon coating on moving optical fibres. The effects of process parameters and gas composition on coating properties and deposition rate were investigated. Finally best results were obtained with C 2 H 2 -Ar p
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.