Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"C. Monginoul"'
Publikováno v:
Microelectronic Engineering. 6:433-438
Polymers bearing tetrathiafulvalene groups have been tested under e-beam and UV irradiation. The dependence of resist sensitivity on molecular weight is reported. Resolution between 0,1 and 0, 4 μm were obtained. These polymers are shown to have des
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::0ae7f9bb01adb716b3663dc69497164c
https://doi.org/10.1016/0167-9317(87)90070-0
https://doi.org/10.1016/0167-9317(87)90070-0
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.