Zobrazeno 1 - 10
of 60
pro vyhledávání: '"C-S. Koay"'
Autor:
T. Levin, James J. Kelly, Shyng-Tsong Chen, Guillaume Landie, Stephan A. Cohen, John C. Arnold, Anthony Francis Scaduto, Takamasa Usui, Kazumichi Tsumura, M. Tagami, Hosadurga Shobha, Scott Halle, D. Horak, C-S. Koay, Sean D. Burns, Hideyuki Tomizawa, Muthumanickam Sankarapandian, Mignot Yann, M. Ishikawa, O. van der Straten, Yunpeng Yin, Donald F. Canaperi, Yongan Xu, Hirokazu Kato, Terry A. Spooner, Erin Mclellan, Matthew E. Colburn
Publikováno v:
2011 IEEE International Interconnect Technology Conference.
This work demonstrates the building of 64 nm pitch copper single and dual damascene interconnects using pitch split double patterning scheme to enable sub 80nm pitch patterning. A self-aligned-via (SAV) litho/RIE scheme was used to create vias confin
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::ef6cdcf3a50815fac6aedb7957a27fcf
https://doi.org/10.1109/iitc.2011.5940273
https://doi.org/10.1109/iitc.2011.5940273
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.