Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"Buried hard‐etch mask"'
Publikováno v:
Micromachines, Vol 12, Iss 4, p 414 (2021)
Several Silicon on Insulator (SOI) wafer manufacturers are now offering products with customer-defined cavities etched in the handle wafer, which significantly simplifies the fabrication of MEMS devices such as pressure sensors. This paper presents a
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/f3dc54066ccf491b82c23ad6755919ee
Publikováno v:
Micromachines
Volume 12
Issue 4
Micromachines, Vol 12, Iss 414, p 414 (2021)
Micromachines, 12(4)
Volume 12
Issue 4
Micromachines, Vol 12, Iss 414, p 414 (2021)
Micromachines, 12(4)
Several Silicon on Insulator (SOI) wafer manufacturers are now offering products with customer-defined cavities etched in the handle wafer, which significantly simplifies the fabrication of MEMS devices such as pressure sensors. This paper presents a
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::3f666f200b788508ae24d9d53f66bcde
http://europepmc.org/articles/PMC8070108
http://europepmc.org/articles/PMC8070108
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.