Zobrazeno 1 - 1 of 1 pro vyhledávání: '"Bukerk, Fred"'
1
Periodical
Performance Optimization of a High-Repetition-Rate KrF Laser Plasma X-Ray Source for Microlithography
Autor: Bukerk, Fred, Louis, Eric, Turcu, Edmond C. I., Tallents, Greg J., Batani, Dimitri
Publikováno v: Journal of X-Ray Science and Technology; January 1992, Vol. 3 Issue: 2 p133-151, 19p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje