Zobrazeno 1 - 9
of 9
pro vyhledávání: '"Budach, Michael"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Lin, Kang-Yi, Preischl, Christian, Hermanns, Christian Felix, Rhinow, Daniel, Solowan, Hans-Michael, Budach, Michael, Marbach, Hubertus, Edinger, Klaus, Oehrlein, G. S.
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; Jan2023, Vol. 41 Issue 1, p1-12, 12p
Autor:
Lin, Kang-Yi, Preischl, Christian, Hermanns, Christian Felix, Rhinow, Daniel, Solowan, Hans-Michael, Budach, Michael, Edinger, Klaus, Oehrlein, G. S.
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; Dec2022, Vol. 40 Issue 6, p1-17, 17p
Autor:
Liang, Ted, Stivers, Alan R., Penn, Michael, Bald, Dan, Sethi, Chetan, Boegli, Volker, Budach, Michael, Edinger, Klaus, Spies, Petra
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2004, Issue 1, p291-300, 10p
Autor:
Edinger, Klaus, Boegli, Volker A., Budach, Michael, Hoinkis, Ottmar, Weyrauch, Bernd, Koops, Hans W. P., Bihr, Johannes, Greiser, Jens
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2003, Issue 1, p383-390, 8p
Autor:
Edinger, Klaus, Becht, Hans, Becker, Rainer, Bert, Volker, Boegli, Volker A., Budach, Michael, G÷hde, Susanne, Guyot, Jochen, Hofmann, Thorsten, Hoinkis, Ottmar, Kaya, Alexander, Koops, Hans W., Spies, Petra, Weyrauch, Bernd, Bihr, Johannes
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2003, Issue 1, p1222-1231, 10p
Autor:
Boegli, Volker A., Koops, Hans W. P., Budach, Michael, Edinger, Klaus, Hoinkis, Ottmar, Weyrauch, Bernd, Becker, Rainer, Schmidt, Rudolf, Kaya, Alexander, Reinhardt, Andreas, Braeuer, Stephan, Honold, Heinz, Bihr, Johannes, Greiser, Jens, Eisenmann, Michael
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2002, Issue 1, p283-292, 10p
Autor:
Edinger, Klaus, Becht, Hans, Bihr, Johannes, Boegli, Volker, Budach, Michael, Hofmann, Thorsten, Koops, Hans W. P., Kuschnerus, Peter, Oster, Jens, Spies, Petra, Weyrauch, Bernd
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 2004, Vol. 22 Issue 6, p2902-2906, 5p