Zobrazeno 1 - 6 of 6 pro vyhledávání: '"Bromley, E. I."'
1
Akademický článek
Linewidth control with masked ion beam lithography using stencil masks.
Autor: Randall, J. N., Bromley, E. I., Economou, N. P.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics Processing & Phenomena; 1986, Vol. 4 Issue 1, p10-14, 5p
Zobrazit plný text záznamu
2
Akademický článek
Masked ion beam resist exposure using grid support stencil masks.
Autor: Randall, J. N., Flanders, D. C., Economou, N. P., Donnelly, J. P., Bromley, E. I.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics Processing & Phenomena; 1985, Vol. 3 Issue 1, p58-61, 4p
Zobrazit plný text záznamu
3
Akademický článek
Nitrocellulose as a positive or negative self-developing resist.
Autor: Geis, M. W., Randall, J. N., Mountain, R. W., Woodhouse, J. D., Bromley, E. I., Astolfi, D. K., Economou, N. P.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics Processing & Phenomena; 1985, Vol. 3 Issue 1, p343-346, 4p
Zobrazit plný text záznamu
4
Akademický článek
Silicon nitride stencil masks for high resolution ion lithography proximity printing.
Autor: Randall, J. N., Flanders, D. C., Economou, N. P., Donnelly, J. P., Bromley, E. I.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics Processing & Phenomena; 1983, Vol. 1 Issue 4, p1152-1155, 4p
Zobrazit plný text záznamu
5
Akademický článek
A technique for the determination of stress in thin films.
Autor: Bromley, E. I., Randall, J. N., Flanders, D. C., Mountain, R. W.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics Processing & Phenomena; 1983, Vol. 1 Issue 4, p1364-1366, 3p
Zobrazit plný text záznamu
6
Akademický článek
High resolution ion beam lithography at large gaps using stencil masks.
Autor: Randall, J. N., Flanders, D. C., Economou, N. P., Donnelly, J. P., Bromley, E. I.
Publikováno v: Applied Physics Letters; 1983, Vol. 42 Issue 5, p457-459, 3p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje