Zobrazeno 1 - 10 of 19 pro vyhledávání: '"Brodie, Alan D."'
1
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
2
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
3
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
5
Conference
High-throughput NGL electron-beam direct-write lithography system.
Autor: Parker, N. William, Brodie, Alan D., McCoy, John H.
Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2000 Part 2, Issue 1, p713-720, 8p
Zobrazit plný text záznamu
6
Conference
Characterization of a new automated electron beam wafer inspection system.
Autor: Hendricks, Douglas, Jau, Jack Y., Dohse, Hans, Brodie, Alan D., Meisburger, William D.
Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov1995, Issue 1, p174-183, 10p
Zobrazit plný text záznamu
7
Akademický článek
Low-voltage electron beam lithography resist processes: top surface imaging and hydrogen silisesquioxane bilayer.
Autor: Jamieson, Andrew, Willson, C. Grant, Hsu, Yautzong, Brodie, Alan D.
Publikováno v: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS & MOEMS; Jul2004, Vol. 3 Issue 3, p442-449, 8p
Zobrazit plný text záznamu
9
Akademický článek
Coulomb effects in retarding field lenses.
Autor: Brodie, Alan D.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1994, Vol. 12 Issue 6, p3489-3493, 5p
Zobrazit plný text záznamu
10
Akademický článek
Inspection of optical phase-shifting masks with an automated electron-beam system.
Autor: Brodie, Alan D., Chen, Zhong-Wei, Jau, Jack, Meisburger, Dan, Grenon, Brian
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1994, Vol. 12 Issue 6, p3595-3599, 5p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje