Zobrazeno 1 - 10
of 26
pro vyhledávání: '"Broas, Mikael"'
Publikováno v:
In Journal of Alloys and Compounds 15 December 2016 688 Part B:388-398
Autor:
Rontu, Ville, Sippola, Perttu, Broas, Mikael, Ross, Glenn, Sajavaara, Timo, Lipsanen, Harri, Paulasto-Kröckel, Mervi, Franssila, Sami
The atomic layer deposition (ALD) of AlN from AlCl3 was investigated using a thermal process with NH3 and a plasma-enhanced (PE)ALD process with Ar/NH3 plasma. The growth was limited in the thermal process by the low reactivity of NH3, and impractica
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______1222::2f2190e7b310dc20c1befa20b1bacad5
http://urn.fi/URN:NBN:fi:jyu-201801241317
http://urn.fi/URN:NBN:fi:jyu-201801241317
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Aalto, Timo, Airaksinen, Veli-Matti, Albert, Stephan Gerhard, Allegato, Giorgio, Amiotti, Marco, Anttila, Olli, Auersperg, Juergen, Bonucci, Antonio, Bose, Indranil Ronnie, Braun, Tanja, Broas, Mikael, Burggraf, J., Cameron, Christopher, Candler, Rob N., Cao, Zhen, Cardoso, André, Chen, Kuo-Shen, Conte, Andrea, Cozma, Adriana, Davis, Cristina E., Dempwolf, Sophia, Dixit, Pradeep, Dost, Michael, Dragoi, Viorel, Eränen, Simo, Fain, Bruno, Figeys, B., Fischer, Andreas C., Flötgen, Christoph, Franssila, Sami, Friedberger, Alois, Fueldner, Marc, Ganchenkova, Maria, Gonzalez, Pilar, Gosálvez, Miguel A., Grimes, Michael, Haapalinna, Atte, Hagelin, Paul, Hammond, Paul, Henttinen, Kimmo, Henttonen, Vesa, Horsley, David, Hoshi, Takeo, Itoh, Satoshi, Jakobsen, Henrik, Jansen, R., Jonsson, Kerstin, Kähler, Dirk, Kannojia, Harindra Kumar, Kattelus, Hannu, Kissinger, Gudrun, Knechtel, Roy, Knese, Kathrin, Kolari, Kai, Koskenvuori, Mika, Kuisma, Heikki, Kulkarni, Amit, Laermer, Franz, Landesberger, Christof, Leinenbach, Christina, LeVasseur, Michael K., Li, Jue, Lin, Yuyuan, Lindner, Paul F., Lodewijks, K., Lofink, Fabian, Longoni, Giorgio, Luber, Sebastian Markus, Mahmud-ul-hasan, M., Mäkinen, Jari, Mäntysalo, Matti, Martin, Devin, Maspero, Federico, Mattila, Toni T., Mauri, Luca, Merz, Peter, Meyer, Doug, Moraja, Marco, Motooka, Teruaki, Müller, Gerhard, Muralt, Paul, Nieminen, Risto M., Niklaus, Frank, Oggioni, Laura, Olkkonen, Juuso, Österlund, Elmeri, Ou, Kuang-Shun, Paloheimo, Jari, Pasanen, Toni P., Paulasto-Kröckel, Mervi, Plach, Thomas, Polizzi, Jean-Philippe, Pressel, Klaus, Putkonen, Matti, Puurunen, Riikka L., Reinert, Wolfgang, Rizzi, Enea, Rochus, V., Ross, Glenn, Rottenberg, X., Sainiemi, Lauri, Savin, Hele, Schenk, Harald, Schikowski, Marc, Schulze, Matthias, Seema, S., Severi, S., Skogström, Lasse, Suga, Tadatomo, Sullivan, Scott, Suni, Tommi, Theuss, Horst, Tilli, Markku, Tilmans, H.A.C., Tittonen, Ilkka, Tofteberg, Hannah, Törmä, Pekka, Tuomikoski, Santeri, Tyholdt, Frode, Uda, Tsuyoshi, Vallin, Örjan, Valzasina, Carlo, Veijola, Timo, Viinikka, Eeva, Vogel, Dietmar, Vogl, Andreas, Vuorinen, Vesa, Westervelde, W.J., Wicht, Sebastian, Wieland, Robert, Winkler, Bernhard, Yobas, Levent, Zanotti, Luca, Zubel, I.
Publikováno v:
In Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies Edition: Third Edition. 2020:xv-xvii
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Broas, Mikael, Hua Jiang, Graff, Andreas, Sajavaara, Timo, Vuorinen, Vesa, Paulasto-Kröckel, Mervi
Publikováno v:
Applied Physics Letters; 10/2/2017, Vol. 111 Issue 14, p141606-1-141606-4, 4p, 2 Color Photographs, 1 Chart, 2 Graphs