Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"Brichko Yakov"'
Autor:
Joseph Sisson, Brichko Yakov, Robert Herring, Marci Schaefer, Yoshihide Senzaki, Carl Barelli, Dana Teasdale
Publikováno v:
MRS Proceedings. 716
Using a hot-wall rapid thermal system which permits single-wafer processing, thin gate dielectrics consisting of silicon nitride films were fabricated by low pressure chemical vapor deposition (LPCVD). Nitride layers deposited from dichlorosilane (DC
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::ce3fe05a57e85e013d4d6930700f0e9a
https://doi.org/10.1557/proc-716-b2.10
https://doi.org/10.1557/proc-716-b2.10
Autor:
Senzaki, Yoshihide, Brichko, Yakov, Barelli, Carl, Herring, Robert, Teasdale, Dana, Schaefer, Marci, Sisson, Joseph
Publikováno v:
MRS Online Proceedings Library; 2002, Vol. 716 Issue 1, p1-4, 4p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.