Zobrazeno 1 - 6
of 6
pro vyhledávání: '"Boyda, Robert"'
Autor:
Viloana, Rommel Paulo B., Gub, Jiabin, Boyda, Robert, Keraudya, Julien, Li, Liuhe, Helmersson, Ulf
The effect of applying a positive voltage pulse (Urev = 10 - 150 V) directly after the negative high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) pulse (bipolar HiPIMS) is investigated for the reactive sputter deposition of TiN thin films. Energy-reso
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/1906.06074
Publikováno v:
SAE Transactions, 1985 Jan 01. 94, 247-254.
Externí odkaz:
https://www.jstor.org/stable/44724024
Publikováno v:
SAE Transactions, 1987 Jan 01. 96, 559-568.
Externí odkaz:
https://www.jstor.org/stable/44472972
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.