Zobrazeno 1 - 10
of 320
pro vyhledávání: '"Bodermann, B."'
Autor:
Hammerschmidt, M., Weiser, M., Santiago, X. Garcia, Zschiedrich, L., Bodermann, B., Burger, S.
Publikováno v:
Proc. SPIE 10330 (2017) 1033004
We present a Newton-like method to solve inverse problems and to quantify parameter uncertainties. We apply the method to parameter reconstruction in optical scatterometry, where we take into account a priori information and measurement uncertainties
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/1707.08467
Publikováno v:
Proc. SPIE Vol. 8681 (2013) 868119
A method for automatic computation of parameter derivatives of numerically computed light scattering signals is demonstrated. The finite-element based method is validated in a numerical convergence study, and it is applied to investigate the sensitiv
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/1304.4367
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Applied optics [Appl Opt] 2023 Jan 20; Vol. 62 (3), pp. 756-763.
Publikováno v:
In Measurement 2006 39(9):782-794
Publikováno v:
Measurement Science & Technology; Jul2020, Vol. 31 Issue 7, p1-10, 10p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Applied Physics B: Lasers & Optics. Nov2005, Vol. 81 Issue 7, p875-879. 5p. 1 Diagram, 5 Graphs.
Publikováno v:
European Physical Journal D (EPJ D). Feb2004, Vol. 28 Issue 2, p199-209. 11p.