Zobrazeno 1 - 9 of 9 pro vyhledávání: '"BöHME, Sophie"'
1
Dissertation/ Thesis
Towards high-chi block copolymers at the industry scale : routes for a possible integration as a new nanostructuring technology
Autor: BöHME, Sophie
La complexité et le coût croissant des processus nécessaires pour fabriquer des processeurs de plus en plus puissants de l'industrie microélectronique conduit à des structures de plus en plus petites. La photolithographie, technologie clé pour
Externí odkaz: http://www.theses.fr/2016GREAT109/document
Zobrazit plný text záznamu
4
Directed self-assembly of PS-b-PDMS into 193nm photoresist patterns and transfer into silicon by plasma etching
Autor: Oehrlein, Gottlieb, Lin, Qinghuang, Zhang, Ying, Archambault, Sophie, Girardot, Cécile, Salaün, Mathieu, Delalande, Michael, Böhme, Sophie, Cunge, Gilles, Pargon, Erwine, Joubert, Olivier, Zelsmann, Marc
Publikováno v: SPIE Advanced Lithography
SPIE Advanced Lithography, 2014, San Jose, United States. ⟨10.1117/12.2047287⟩
Block CoPolymer (BCP) self-assembly creates periodical patterns with feature sizes eventually below 10 nm. On plain substrates, ordering is only obtained in grains not larger than a few micrometers but self-assembly in trenches of a pattern (using so
Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::0843468902c2b9735c6f8ef77da77d2a
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01797999
Zobrazit plný text záznamu
5
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje