High resolution 100 kV electron beam lithography in SU-8

Autor: Bilenberg, B., Jacobsen, S., Schmidt, M.S., Skjolding, L.H.D., Shi, P., Bøggild, P., Tegenfeldt, J.O., Kristensen, A.

Publikováno v: In Microelectronic Engineering 2006 83(4):1609-1612

DWDM laser arrays fabricated using thermal nanoimprint lithography on Indium Phosphide substrates

Autor: Smistrup, K., Nørregaard, J., Mironov, A., Bro, T. H., Bilenberg, B., Ole Hansen, Khan, F., Emanuel, M., Ma, Y., Zhang, Y., Anders Kristensen, Rishton, S., Nielsen, T.

Publikováno v: Smistrup, K, Nørregaard, J, Mironov, A, Bro, T H, Bilenberg, B, Nielsen, T, Hansen, O, Kristensen, A, Rishton, S, Khan, F, Emanuel, M, Ma, Y & Zhang, Y 2013, ' DWDM laser arrays fabricated using thermal nanoimprint lithography on Indium Phosphide substrates ', The 57th international conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication, Nashville, Denmark, 28/05/2013-31/05/2013 .
Technical University of Denmark Orbit
Anders Kristensen

Dense Wavelength Division Multiplexing (DWDM) lasers play a major role in today’s long-haul broadband communication. Typical distributed feedback (DFB) laser cavities consist of long half-pitch gratings in InGaAsP on InP substrates with pitches aro

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::40b96e0498ce3364f375ef1abb63ce7f
https://orbit.dtu.dk/en/publications/125456ad-49b2-4353-9db9-3b395f5bdcc8

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Polymer-based lab-on-a-chip lasers.

Autor: Kristensen, A., Balslev, S., Bilenberg, B., Gersborg-Hansen, M., Nilsson, D.

Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2004, Issue 1, p64-71, 8p

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.