Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"Bernd Mensching"'
Autor:
R. Tielert, Andreas Hildebrandt, Bernd Mensching, C. Hierold, Thomas Scheiter, Max Steger, Ulrich Na¨her
Publikováno v:
Sensors and Actuators A: Physical. 57:111-116
A pure CMOS integrated accelerometer has been realized using surface micromachining as the structural technique. The samples are fabricated by a 14-mask 0.8 μm CMOS standard process in a Siemens production line. Only the standard layers of the proce
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::328a41fd31e79bb36117b1605d2ea545
https://doi.org/10.1016/s0924-4247(97)80101-x
https://doi.org/10.1016/s0924-4247(97)80101-x
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.