Zobrazeno 1 - 10
of 158
pro vyhledávání: '"Berenschot, J.W."'
Publikováno v:
In Optics and Lasers in Engineering October 2020 133
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering 16 August 2015 144:12-18
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering 1 June 2015 140:60-66
Autor:
Tiggelaar, R.M. *, Male, P. van, Berenschot, J.W., Gardeniers, J.G.E., Oosterbroek, R.E., Croon, M.H.J.M. de, Schouten, J.C., Berg, A. van den, Elwenspoek, M.C.
Publikováno v:
In Sensors & Actuators: A. Physical 2005 119(1):196-205
Autor:
Ekkels, P. ∗, Tjerkstra, R.W., Krijnen, G.J.M, Berenschot, J.W., Brugger, J., Elwenspoek, M.C.
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering 2003 67:422-429
Autor:
Oosterbroek, R.E. *, Lammerink, T.S.J., Berenschot, J.W., Krijnen, G.J.M., Elwenspoek, M.C., van den Berg, A.
Publikováno v:
In Sensors & Actuators: A. Physical 1999 77(3):167-177
Autor:
Nijdam, A.J a, *, van Suchtelen, J a, b, Berenschot, J.W a, Gardeniers, J.G.E a, Elwenspoek, M a
Publikováno v:
In Journal of Crystal Growth 1999 198 Part 1:430-434
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Dijkstra, M., Lammerink, T.S.J., de Boer, M.J., Berenschot, J.W., Wiegerink, R.J., Elwenspoek, M., Bright, Victor M.
Publikováno v:
Collection of papers presented at the DTIP of MEMS & MOEMS: Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS: 9-11 April 2008, Nice, France
Collection of papers presented at the DTIP of MEMS & MOEMS
Collection of papers presented at the DTIP of MEMS & MOEMS
A thermal flow sensor has been realised consisting of freely-suspended silicon-rich silicon-nitride microchannels with an integrated Al/poly-Si++ thermopile in combination with up- and downstream Al heater resistors. The inherently zero offset of the
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::4230174e42b0c47721226bfa06daab06
https://doi.org/10.1109/dtip.2008.4752993
https://doi.org/10.1109/dtip.2008.4752993