Zobrazeno 1 - 10
of 34
pro vyhledávání: '"Beral, Christophe"'
Autor:
Liddle, J. Alexander, Ruiz, Ricardo, Verstraete, Lander, Suh, Hyo Seon, Van Bel, Julie, Bak, Byeong-U, Kim, Seong Eun, Vallat, Remi, Bezard, Philippe, Beggiato, Matteo, Beral, Christophe
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; April 2024, Vol. 12956 Issue: 1 p129560G-129560G-9, 1166050p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Lorusso, Gian F., Beral, Christophe, Bogdanowicz, Janusz, De Simone, Danilo, Hasan, Mahmudul, Jehoul, Christiane, Moussa, Alain, Saib, Mohamed, Zidan, Mohamed, Severi, Joren, Truffert, Vincent, Van den Heuvel, Dieter, Goldenshtein, Alex, Houchens, Kevin, Santoro, Gaetano, Fischer, Daniel, Muellender, Angelika, Hung, Joey, Koret, Roy, Turovets, Igor, Ausschnitt, Kit, Mack, Chris A., Kondo, Tsuyoshi, Shohjoh, Tomoyasu, Ikota, Masami, Charley, Anne-Laure, Leray, Philippe
Publikováno v:
Metrology, Inspection, and Process Control XXXVI
SPIE Advanced Lithography + Patterning
SPIE Advanced Lithography + Patterning
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::ae169710f9fc02cc3d8efcee1d03d9fe
https://doi.org/10.1117/12.2614046
https://doi.org/10.1117/12.2614046
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Liddle, J. Alexander, Ruiz, Ricardo, Van Bel, Julie, Verstraete, Lander, Suh, Hyo Seon, De Gendt, Stefan, Bezard, Philippe, Vandereyken, Jelle, Li, Waikin, Beggiato, Matteo, Tamaddon, Amir-Hossein, Beral, Christophe, Santos, Andreia, Alperson, Boaz, Her, YoungJun
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; May 2023, Vol. 12497 Issue: 1 p124970K-124970K-9, 1124740p
Autor:
Liddle, J. Alexander, Ruiz, Ricardo, Verstraete, L., Suh, Hyo Seon, Van Bel, Julie, Timi, Purnota Hannan, Vallat, Remi, Bezard, Philippe, Vandereyken, Jelle, Beggiato, Matteo, Tamaddon, Amir-Hossein, Beral, Christophe, Li, Waikin, Gupta, Mihir, Fallica, Roberto
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; May 2023, Vol. 12497 Issue: 1 p124970I-124970I-10, 12372041p
Autor:
Robinson, John C., Sendelbach, Matthew J., Chen, Cong, Van Den Heuvel, Dieter, Beggiato, Matteo, Tunca Altintas, Bensu, Moussa, Alain, Vandooren, Anne, Baudemprez, Bart, Schöbitz, Michael, Khaldi, Wassim, Bogdanowicz, Janusz, Beral, Christophe, Charley, Anne-Laure
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; April 2023, Vol. 12496 Issue: 1 p124961B-124961B-11, 12371151p
Autor:
Itani, Toshiro, Naulleau, Patrick P., Gargini, Paolo A., Ronse, Kurt G., Hasan, Mahmudul, Beral, Christophe, Francesco Lorusso, Gian, De Simone, Danilo, Moussa, Alain, Van Den Heuvel, Dieter, Charley, Anne-Laure, Leray, Philippe
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; December 2022, Vol. 12292 Issue: 1 p122920M-122920M-9, 1106290p
Autor:
Schleicher, Filip, Paolillo, Sara, Decoster, Stefan, Wu, Chen, Vega-Gonzalez, Victor, Hasan, Mahmudul, Beral, Christophe, Lazzarino, Frédéric
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Nanotechnology & Microelectronics; May2022, Vol. 40 Issue 3, p1-9, 9p
Autor:
Robinson, John C., Sendelbach, Matthew J., Lorusso, Gian Francesco, Beral, Christophe, Bogdanowicz, Janusz, De Simone, Danilo, Hasan, Mahmudul, Jehoul, Christiane, Moussa, Alain, Saib, Mohamed, Zidan, Mohamed, Severi, Joren, Truffert, Vincent, Van den Heuvel, Dieter, Goldenshtein, Alex, Houchens, Kevin, Santoro, Gaetano, Fischer, Daniel, Muellender, Angelika, Hung, Joey, Koret, Roy, Turovets, Igor, Ausschnitt, Kit, Mack, Chris, Kondo, Tsuyoshi, Shohjoh, Tomoyasu, Ikota, Masami, Charley, Anne-Laure, Leray, Philippe
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; May 2022, Vol. 12053 Issue: 1 p120530O-120530O-12, 11932483p